PECVD
(略)-(略) 詳細情況
****年10月06日 14:(略)
(略) | |
項目所在采購意向: | (略) |
采購單位: | (略) |
采購項目名稱: | (略) |
預算金額: | (略) |
采購品目: | (略) |
采購需求概況 : | 1.名稱:(略) 2.功能:用於實現半導體MEMS製造流程中的等離子體增強化學氣相沉積工藝((略)),成膜材料應包括氧化矽、氮化矽、氮氧化矽 3.數量:1台; 4.晶圓尺寸:8英寸兼容6英寸,Open Cassette |
預計采購時間: | (略) |
備注: |
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。
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